環(huán)境對INFICON RFS100射頻傳感器的影響
瑞士INFICON射頻傳感器技術為半導體加工工具提供高精度，寬帶，頻率判別的射頻測量。該RF數據可提供有關工藝開發(fā)和生產過程問題的實際等離子體條件的詳細信息，從而顯著降低工藝可變性。 這款非侵入式在線電纜安裝RF傳感器是新的優(yōu)良過程控制原位傳感器套件， 與FabGuard傳感器集成和分析系統(tǒng)相結合 提供關鍵的診斷信息，例如的腔室和過程功率和阻抗測量，故障的根本原因分析（例如匹配網絡問題），腔室匹配的過程指紋識別以及PVD，CVD和蝕刻應用中的晶圓計量建模。
采用FabGuard的INFICON射頻傳感器技術可生成高精度模型，通過測量和執(zhí)行基波和諧波電壓和電流（包括相角測量）的分析來預測晶圓計量結果，因此工程師能夠控制每個晶圓處理過程中的實際晶圓結果。現在，FabGuard的強大算功能與RF傳感器技術相結合，可基于通過易于理解的用戶界面提供的實時測量和相關性，顯著提高半導體工藝的可重復性，穩(wěn)定性和準確性。
環(huán)境給INFICON RFS100射頻傳感器影響主要有以下幾個方面：
高溫環(huán)境對傳感器造成涂覆材料熔化、焊點開化、彈性體內應力發(fā)生結構變化等問題。對于高溫環(huán)境下工作的傳感器常采用耐高溫傳感器；另外，必須加有隔熱、水冷或氣冷等裝置。
粉塵、潮濕對傳感器造成短路的影響。在此環(huán)境條件下應選用密閉性很高的傳感器。不同的傳感器其密封的方式是不同的，其密閉性存在著很大差異。
常見的密封有密封膠充填或涂覆；橡膠墊機械緊固密封；焊接（氬弧焊、等離子束焊）和抽真空充氮密封。
從密封效果來看，焊接密封為佳，充填涂覆密封膠為差。對于室內干凈、干燥環(huán)境下工作的傳感器，可選擇涂膠密封的傳感器，而對于一些在潮濕、粉塵性較高的環(huán)境下工作的傳感器，應選擇膜片熱套密封或膜片焊接密封、抽真空充氮的傳感器。
在腐蝕性較高的環(huán)境下，如潮濕、酸性對傳感器造成彈性體受損或產生短路等影響，應選擇外表面進行過噴塑或不銹鋼外罩，抗腐蝕性能好且密閉性好的傳感器。
電磁場對傳感器輸出紊亂信號的影響。在此情況下，應對傳感器的屏蔽性進行嚴格檢查，看其是否具有良好的抗電磁能力。
易燃、易爆不僅對傳感器造成*性的損害，而且還給其它設備和人身安全造成很大的威脅。因此，在易燃、易爆環(huán)境下工作的傳感器對防爆性能提出了更高的要求：在易燃、易爆環(huán)境下必須選用防爆傳感器，這種傳感器的密封外罩不僅要考慮其密閉性，還要考慮到防爆強度，以及電纜線引出頭的防水、防潮、防爆性等。
INFICON RFS100射頻傳感器特征：
CVD應用
- 晶圓計量建模（薄膜應力，薄膜厚度）
- 真正的處理室輸出功率的有功功率控制
- FDC（例如等離子體不穩(wěn)定，充電）
- 室內匹配（RF指紋）
- PVD應用
- 晶圓計量建模（電阻率）
- FDC
- 室內匹配（RF指紋）
- 蝕刻應用
- 晶圓計量建模（蝕刻速率）
- 真正的處理室輸出功率的有功功率控制
- FDC
- 室內匹配（RF指紋）
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